Метод дифракции отраженных электронов (ДОЭ или EBSD) был разработан относительно давно на основе метода картин каналирования электронов в растровых электронных микроскопах (РЭМ), но широкое практическое применение данного метода в научных и прикладных исследованиях началось лишь в середине 90-х годов прошлого века. Развитие данного метода было неразрывно связано с успехами в компьютерной технике и высокочувствительных цифровых камер, поскольку максимальный эффект от его применения мог быть получен только при высоком быстродействии систем регистрации дифракционных картин и быстрой компьютерной обработке полученной цифровой информации. Метод дифракции отраженных электронов (ДОЭ), используемый в растровом электронном микроскопе (РЭМ) в качестве дополнительного аналитического метода, позволяет на поверхности массивных поликристаллов без труда определять ориентации отдельных зерен, локальную текстуру, корреляцию ориентаций между точками и идентифицировать фазы и двумерные распределения фаз по поверхности образца.